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機器人無塵室

實現高速的更大吞吐量

隨著醫療和消費類電子產業的發展,對無塵室自動化解決方案的需求在迅速地增加。控制消費類設備的微型芯片都是從一個精細的硅片上切割下來的,而該硅片是由專門設計的機器人在一個無塵室環境中進行處理的。在某些醫療和制藥應用中使用的機器人需要在符合無塵室標準的同時,實現極快的速度和可重復性。川崎提供的技術可以解決如今在無塵室應用方面的挑戰。

川崎提供的各種機器人和設備適用于ISO 1級、2級和5級無塵室的分類。這些無塵室機器人擁有引以為傲的業界領先的速度、可重復性和可靠性,而這些在以需求量增加為重點的行業內是關鍵的因素。為無塵室應用研制出的機器人手臂的設計考慮到了易用性,包括通臂電纜和管路技術、接口連接外圍設備的標準,以及針對半導體系列的全自動晶圓處理的教學方案。

川崎擁有高速、準確和可靠的技術,可以幫助您達到您對無塵室自動化的目標。


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